ГОСТ 8.594-2009: Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки

Терминология ГОСТ 8.594-2009: Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки оригинал документа:

3.10 видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль): Графическая зависимость значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видеоизображения.

Определения термина из разных документов: видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль)

3.18 высоковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ, ускоряющие напряжение которого не менее 15 кВ.

Определения термина из разных документов: высоковольтный растровый электронный микроскоп

3.15 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.

Пример - Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.

Определения термина из разных документов: геометрическая форма элемента рельефа

изображение во вторичных электронах: Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием вторичных электронов от объекта.

[ГОСТ 21006-75, статья 33]

Определения термина из разных документов: изображение во вторичных электронах

3.9 изображение на экране монитора РЭМ (видеоизображение): Изображение на экране монитора РЭМ в виде матрицы из п строк по т пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.

Примечание - Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой в направлении глаза наблюдателя.

Определения термина из разных документов: изображение на экране монитора РЭМ (видеоизображение)

3.11 масштабный коэффициент (видеоизображения РЭМ): Отношение длины исследуемого элемента рельефа на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.

Примечание - Масштабный коэффициент определяют для каждого РЭМ.

Определения термина из разных документов: масштабный коэффициент (видеоизображения РЭМ)

3.20 медленные вторичные электроны; МВЭ: Группа вторичных электронов, возникающая в результате взаимодействия электронного зонда с исследуемым объектом, энергия которых не превышает 50 эВ (» 8 × 10^-18 Дж).

Определения термина из разных документов: медленные вторичные электроны

3.17 низковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ, ускоряющие напряжение которого не более 2 кВ.

Определения термина из разных документов: низковольтный растровый электронный микроскоп

отклоняющая система электронного микроскопа (отклоняющая система): Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка электрическими или магнитными полями.

[ГОСТ 21006-75, статья 25]

Определения термина из разных документов: отклоняющая система электронного микроскопа (отклоняющая система)

3.8 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате математической обработки информативного сигнала.

Определения термина из разных документов: пиксель

растровый электронный микроскоп (РЭМ): Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом.

[ГОСТ 21006-75, статья 3]

Определения термина из разных документов: растровый электронный микроскоп

3.2 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.

Определения термина из разных документов: рельеф поверхности (твердого тела)

3.12 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.

Примечание - Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.

Определения термина из разных документов: рельефная мера

3.13 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10^-6 м.

Определения термина из разных документов: рельефная мера нанометрового диапазона

3.19 сканирование (РЭМ элемента исследуемого объекта): Перемещение электронного зонда вдоль выбранного отрезка исследуемого объекта с помощью отклоняющей системы РЭМ с одновременной регистрацией информативного сигнала.

Определения термина из разных документов: сканирование (РЭМ элемента исследуемого

ускоряющее напряжение электронного микроскопа (ускоряющее напряжение): Разность потенциалов, определяющая энергию электронов в осветительной системе электронного микроскопа.

[ГОСТ 21006-75, статья 47]

Определения термина из разных документов: ускоряющее напряжение электронного микроскопа (ускоряющее напряжение)

электронно-оптическое увеличение электронного микроскопа: Отношение линейного размера изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному размеру соответствующего элемента объекта.

[ГОСТ 21006-75, статья 50]

Определения термина из разных документов: электронно-оптическое увеличение электронного микроскопа

3.16 электронный зонд РЭМ: Сфокусированный на поверхности объекта электронный пучок РЭМ.

Определения термина из разных документов: электронный зонд РЭМ

3.3 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа поверхности.

3.4

Определения термина из разных документов: элемент рельефа (поверхности)

3.14 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше прилегающих к нему областей.

Определения термина из разных документов: элемент рельефа в форме выступа (выступ)

3.21 эффективный диаметр электронного зонда: Значение величины, характеризующее поперечный размер электронного зонда, экспериментально определяемое путем обработки кривой видеосигнала в режиме регистрации МВЭ в рамках выбранной модели взаимодействия зонда с веществом.

Определения термина из разных документов: эффективный диаметр электронного зонда